电子重生-第184部分
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相反如果自己没有0。5微米的工艺，国际上肯定就不会卖给你0。5微米的设备。即使卖给你了，那也是看你即将突破这项工艺，放水把你自家地里的苗淹死而已。如果你丝毫没有解决0。5微米工艺技术的迹象，人家也不会傻傻的上来卖给你这个设备。和几千万的生产设备相比，直接卖芯片就好赚的多了。
涂岸北在心里默默吐槽，这根本就是先有鸡还是先有蛋的问题啊！我裤子都脱了你就给我看这个？
当然，1995年的涂老先生还没那么潮，他即听不懂什么叫接盘侠，也不懂脱裤我看的梗。但这里面的中心思想是不会改变的。
周硕看着涂岸北和他身边一群人快被自己忽悠瘸的眼神，情不自禁哈哈大笑起来。他笑了一阵，摆了摆手说道：“好了，不卖关子了。其实说白了，我手里有一项技术可以在短时间内把0。8微米工艺提高到0。5微米水平上来。但是以国内目前的芯片制造工艺水平，没有大规模推广的可能。所以我们要制造泛翰研究所已经突破0。5微米技术难关的假象，然后等日本人急不可耐的把设备卖给咱们。”
涂岸北不由恍然大悟道：“原来如此！我就说周校长你不会是无的放矢的人嘛。最后一个问题，你要怎么在这么短的时间里，把工艺提高到0。5微米？”
周硕背着手，得意的笑道：“道理其实很简单，那就是用水。”
“水？”涂岸北脑袋里划过一丝灵感，若有所思的念叨着。
第二百六十四章水的奥秘
“水，而且是18兆欧的去离子纯水。”周硕用力的点了点头。
水，我们这个星球上面无数生命的源泉。它由一个氧原子和两个氢原子组成，在常温常压下为无色无味的透明液体。
它有很多的物理特性，比如说温度不同导致的密度和形态变化，重水、轻水、超临界水等不同的特殊状态，以及流动性、热传导性、溶解性和导电性等等，这种地球上最常见、可以说是成分最简单的物质之一，想要写完它的全部知识却需要一本最厚的书。
但具体到光刻机技术上，为什么周硕说水可以让0。8微米工艺，短时间内跨越到0。5微米技术？
这还要从光刻机工艺提升的两个方向说起。
所谓的制程工艺，究竟指的是什么呢？制程，实际上就是单晶硅晶圆上面的线宽。构成集成电路的基础，是单晶硅圆片上通过光刻腐蚀出来的线条。这些线条的粗细，也就决定了同一块芯片能够集成多少晶体管，能够达到什么样的性能。
而光刻机上决定线宽的因素，主要是光源和镜片这两种。光刻机生产芯片，其本质上和照相机并无太大区别。光线照射景物然后反射到照相机的镜头上，最后在胶片上形成影像。这个影像不就是比实物要小的多的多了吗？
同样，光刻机在单晶硅圆片上留下来的线条，可也不是一笔一笔刻上去的。而是通过对光学掩膜版进行曝光，然后让这些设计好的逻辑电路影像通过一组组镜头。最终得到比掩膜版要小得多的图像。这样对光敏感的光刻胶，就会被有选择的光照所去除。这些没有光刻胶覆盖的晶圆部分。就会在接下来的工艺中成为晶体管的结构基础。
不断的追求镜片加工极限，就是光刻机提高工艺水平的主流选择。这也是为什么全世界只有三家光刻机生产商。而最为著名的就是日本尼康和荷兰阿斯麦（as。ml）。尼康本身就是日本战前做潜艇潜望镜的厂家，后来则是相机业的霸主。而阿斯麦的镜头则来自于卡尔蔡司，这家公司干嘛的就不用说了，地球人都知道。光刻机离开了这两家光学企业，什么摩尔定律都得去见鬼。
当然，这并不是说就没有其他办法来提高工艺条件了。除了镜头，实际上使用何种光源也会导致线宽的不同。不同波长的光波，就如不同规格的刻刀。波长越短的光波，就能够在光刻胶上留下越细的痕迹。最早的光刻机因为加工精度不高。使用的汞灯只能提供365nm的i线光。后来更换了准分子激光之后，光波才降低到了193nm的激光。
未来想要缩小刻蚀的分辨率，甚至还要继续上14nm的极紫外光。至于10纳米以下，可能人类的科技就已经研究出其他的加工方式了吧。
当然这些只是不准确的科普说法，如果具体要解释一下光波和刻蚀分辨率的关系，或者解释一下照准系统的最大分辨率概念之类的……
本书的长度恐怕会有些不足，以及略有骗稿费的嫌疑。虽然这些知识如果真的讲出来千字3分就太便宜了。本着经不轻传的道理（其实作者也不懂）就不多说了。
言归正传，涂岸北脑海中灵光一现，正是水的一种特性。那就是光通过液体介质后光源波长就会缩短。其缩短的倍率即为液体介质的折射率。也就是说光刻机的光源如果在照射到光刻胶之前先在水中穿行一次，就相当于换了一个更细的刻刀。
而水的折射率是1。44，当0。8微米波长的光线穿过水之后，0。8除以1。44岂不正是0。56微米？如果这项技术真的有可行性。那确实是可以在不提高精密制造水平的前提下，得到更高一代的芯片制程技术。
这么简单的原理，周硕当然不是第一个想到的。用水缩短光源的波长来提高制程工艺。是未来光刻机普遍采用的技术。也就是学名叫做沉浸式光刻机的设备。通过不断努力，未来的光刻机早就已经实现了这项技术。不仅是折射率1。44的水。更开发出折射率更高的液体。沉浸液成为镜片和光源之外，第三个能够快速减小线宽的因素。
“怎么样。大家现在还有什么疑问没有？”
在场的十四个研发人员都是周硕一手挑出来的大才，谁的心思不是一点就透。有几个甚至就是中科院里，参加了0。8微米全套工艺开发的研究员。他只是透出一点话头，这群人的眼睛立刻就亮了起来。
使用水作为沉浸液还面临着很多的问题，比如说光刻胶的溶解、水中的杂质和稳定性，蒸发扰动以及水中气体的去除……
但这些问题和提高精密制造水平，根本不可同日而语。精密制造那是拼基础积累的领域，但拼化学和系统设计，中国人可是太有信心了。
传承自苏联的中国科学家，在系统设计方面可是深谙如何用巧妙方法克服困难要求的。至于某些方面技不如人的自卑，那就完全没有必要了。这种处境既可以叫穷国的无奈，也可以叫发展中国家的后发优势，全看人们从什么角度解读了。
以中国未来取得的成就来看，大可自豪的说是属于后一种角度。
“唔，我看这个路线说不定可以。”涂岸北缓缓的点了点头，笑道：“周校长这个办法确实是奇思妙想，我看有尝试一下的必要。”
“我也觉得能成。”他身边之前质问周硕的中年男人，也不自觉的点头道：“如果光刻胶的防溶解配方一时拿不出来，我看可以增加一组镜头把水和晶圆隔离开。”
“水中的气体可以通过真空法去除，这样我们就只需要考虑蒸发造成的扰动了……”
这十四个研究狂人，在周硕指出了路线之后，很快就一个个都找到了自己专业的切入点。丝毫不在意之前自己还对这个计划表示反对，和实打实的科技成果比起来，面子值几个钱？国家投入十几个亿，花费了三年时间才把工艺从1。2微米推进到0。8微米。如果被自己从0。8微米再推进到0。5微米，恐怕当前实验室里又要多几个能领国。务。院津贴的了吧！
周硕笑着点头道：“大家不要着急，我已经为你们每个人的研究内容，专门写了个计划书。接下来一个月，我们只要能够按部就班的完成计划书里的研究任务，肯定就能准时的拿出0。5微米工艺生产线。”
涂岸北看着周硕从一旁推出来的文件车，窘迫的笑着摇了摇头说道：“之前真不应该怀疑周校长，你可从来都是谋定而后动啊！有这种东西也不早拿出来，不然哪来这么多麻烦？”
周硕拱了拱手，笑嘻嘻的说道：“怪我、怪我，涂老你千万大人有大量！”
这也是周硕一直以来在研究管理上的心得，直接上来就拿出试验计划，下面人难免会觉得反正是老板的项目，做起来多少会有些懈怠没有动力。但如果事先通过启发的方式，让下面人了解了自己的思路和意图，那么他们就会把这个实验当做是自己验证知识的过程。可别小看这似乎多此一举的行为，周硕又不是全知全能的神。给出的试验计划里难免有疏漏和谬误的地方，研究员的积极性和主观能动性这时可就是实验成败的关键了。
众人从周硕推出来的文件车上，取了自己负责方向的计划书。在超净室里面，即使是纸质文件也不能裸露出来的，每一份文件的每一页，都是用透明塑料进行了严格的密封。这让他们拿到手里之后，计划书显得颇有分量。
涂岸北翻了几页实验计划书，感叹的向周硕问道：“既然有这样的技术，我们何必去买日本人的设备？改造一批国产的0。8微米工艺生产线，我们立刻就能追上国际主流水平了。”
周硕微微摇了摇头，遗憾的说道：“这就是我把它命名为杜鹃计划的原因，沉浸式光刻机在目前的技术上并不成熟。又不是呆着没事我才把实验室设在地下的，建造成本就多出来不知道多少倍造价。但地下实验室也有很多好处，比如说温度恒定、精密设备受到的干扰少等等。要知道沉浸式光刻机的关键在水，而水一旦受到一丝晃动，放大到芯片上都是不能接受的。”
“我们的0。5微米工艺，除了光源以外仍然是0。8微米的底子，这势必就会造成生产困难和良品率极低。只有让日本人相信我们已经掌握了0。5微米工艺，为了扼杀我们的研究成果，打开向国内供应0。5微米生产线的口子。接下来得到他们的0。5微米线，才能补全这条线的工艺基础。”
他斩钉截铁的说道：“只要能够真正和美、日站在同一个起跑线上，我不信中国人就一定会在这场比赛中仍然落败。”
第二百六十五章一茬又一茬
吴浩站在科委的大门前，焦急的四下张望着。随着九月末的临近，眼看着九五规划就要在十四届五中全会上面提交审议。科委这边的工作强度也骤然增加了起来。尤其是他这办公室主任的位置屁股还没有做热，更是搏前程、图表现的时候。
但这样紧迫的时间里，他仍然在百忙之中抽出了空闲，专门出来迎接周硕的到来。这当然不是说周硕的面子大，而是这次摊上的事情未免大了一点。
大切诺基从街角开出来，平稳的停在科委门前的停车场里。周硕从车上跳下来，很容易就看到已经被秋日晒的满头大汗的吴浩。
“哟，老吴你怎么站在这里呢。”周硕赶紧小跑了两步，把他拉近了阴凉的室内。
“哎，还不是要赶着拦住你？”吴浩擦了一把头上的汗，叹口气说道：“这次你可摊上大事儿了，我要是不嘱咐一句，心里没底啊！”
他拉着周硕的手，语重心长的说道：“听我一句劝，一会儿千万别硬顶。一个研究员而已，给赵院长退回去，少了张屠户还要吃带毛猪？”
周硕呵呵干笑了两声，摇头道：“老吴，这不是一个研究员的事情。今天他赵院长能找到科委大领导头上，来要回自己一个研究员。明天就要有更多的人找过来，从我泛翰研究所里把他们的人捞回去。人，我既然抓到自己手里了，说什么都不会再松开的。”
“哎呀，你怎么这么死脑筋？”吴浩气的直跺脚。辩解道：“那赵老头是好惹的吗？中科院光电所的大老板！就是我们科委的大领导和他说话也要客客气气的。你要不是挖走了他的手下大将，人家连正眼也不会看你一眼！”
“不是我死脑筋。而是他们光电所死脑筋啊！”周硕也忍不住大倒苦水：“麻友公既然是他光电所的得力干将，就给人家定一个助理研究员的等级。一个月拿不到八百块的死工资？人家老婆下岗、孩子待业、上有老下有小，搞的一个月连一次肉都舍不得吃，这就是对待人才的态度？”
周硕也是越说火气越大，指天说道：“今天这是我把麻友公挽留下来，他赵院长才能到中央去告我的状。可你知不知道同时还有一家日本公司，正在和他接触？我要是下手再晚点，人家说不准就已经坐上去日本的飞机了！难道到时候他赵院长还能去外交部抗议不成？”
“我的周大校长！”吴浩急道：“人在屋檐下，谁能不低头？你泛翰集团毕竟是中国公司，这又有什么办法？”
吴浩也知道这不合理。哪有自己国家的人才被外国公司挖走没事儿，本国公司反而不能挖的道理？但时下就是这么个环境，别说是日本公司了，不管是�
